Comparison of images obtained by Mole microprobe and Castaing probe: application to integrated circuits

La Mole et la sonde Castaing sont deux outils voisins, complémentaires pour l’imagerie des couches minces utilisées lors de la fabrication des circuits intégrés. La microsonde~X a l’avantage de donner un signal pour tout matériau (à l’exception des éléments légers). La microsonde Raman présente celui de donner une information sur la liaison chimique, donc à la fois la nature de l’élément comme la microsonde~X, mais aussi son état chimique.