Les procédés plasmas et leurs développements industriels

Au cours des dix dernières années, un effort technique industriel important a été entrepris pour faire émerger des réacteurs plasmas instrumentés, disposant d’outils de diagnostic en ligne et qui permettent d’envisager l’automatisation de ces nouvelles technologies.

Ainsi, au niveau français, peut-on citer les secteurs concernés : l’élaboration des composants microélectroniques, l’industrie électrique (EDF, Merlin Gérin, Jeumont Schneider, FEI), la métallurgie fine (Irsid, Usinor, Peugeot, SFPO, PSA…), les traitements de surface et des dépôts (Nitruvide, Borollé Technologies, Saint Gobain, R-P Film, SNMI…), la chimie de l’environnement (R-P, Spie-Batignoles, secteur hospitaler, Shell, Total, Elf…), l’industrie spatiale (Aérospatiale, SEP, Dassault, Cnes, ESA) et enfin la microélectronique (Cent, IBM France, Alcatel, Matra, Bull…), etc.

Pour illustrer les acquis et les développements en cours, rappelons tout d’abord les propriétés essentielles des plasmas qui conduisent à ces nouveaux développements.

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