MEMS and piezoelectric materials

Dans le domaine en forte croissance des MEMS (micro-electro-mechanical systems), les matériaux fonctionnels sont appelés à plus ou moins long terme à jour un rôle important en vue de l’amélioration des performances et de la compétitivité des dispositifs.
Parmi eux, les matériaux piézoélectriques présentent un intérêt particulier en raison de la forte densité d’énergie élastique qu’ils peuvent générer dans un volume réduit et de leur faible impédance électrique. L’intégration de ces matériaux dans des microsystèmes (couches minces piézoélectriques dans MEMS) est en développement rapide et continu. L’acoustique haute fréquence, l’optique, le contrôle des vibrations sont quelques uns de leurs nombreux domaines. Ces matériaux permettront, non seulement, l’abaissement des coûts de fabrication des MEMS par l’aspect collectif de la technologie mais aussi, à terme, l’intégration du traitement des signaux circuit sur le même morceau.